1.干式真空泵除半导体材料加工工艺外的一些造成颗粒的加工工艺,不期待颗粒渗入油泵中,而期待颗粒排出来泵外,则用必须形式的干试机械设备贝克真空泵能够 符合要求; 2.干式真空泵化工厂、药业、食品类中的水蒸气蒸馏、干躁、除泡、包裝等,避免溶剂环境污染; 3.干式真空泵作为通常无油渍清理超滤装置的前面泵,以避免油环境污染。 4干式真空泵底压化学气相沉积中的多晶硅制取加工工艺,半导体材料刻蚀加工工艺。 干试螺杆泵能抽除带有很多水蒸气及小量烟尘的汽体场所,極限真空泵更高,耗费输出功率更低,具备环保节能,免检修等优势。这是传统式贝克真空泵的升级换代商品,作为通常无油渍清理超滤装置的前面泵,以避免油环境污染。