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备案号:鲁ICP备2024087562号-1
1、底压化学气相沉积中的光伏电池制取加工工艺中；2、半导体材料刻蚀加工工艺。在这种生产工艺流程中通常采用或转化成腐蚀汽体和碾磨颗粒；3、除半导体材料加工工艺外的一些造成颗粒的加工工艺，不期望颗粒渗入油泵中，而颗粒排出来泵外，则用一定形式的干式真空泵能够 符合要求；4、在化工、医药业、食品产业中的水蒸气蒸馏、干躁、除泡、包裝等；5、用作一般无油渍清理超滤装置的前面泵，以避免油环境污染。干式真空泵的出現，为真空泵制造行业增加了一抹新的“亮丽景色”，以其优良的特性被广泛运用在每个制造行业。 
