开/停(清洗)吹扫的目的是在干式真空泵运行之前或之后排出泵内的残余气体或一些有害物质，如水蒸气和大气。用于启动/关闭(清洗)吹扫的气体要是不影响泵送介质的气体或惰性气体，如氮气和氩气。当泵送气体为腐蚀性气体、有毒气体或树脂等聚合物时，启动/停止(清洗)和吹扫更为重要。 开车/停车(清洗)吹扫：关闭进气口主阀，启动干式真空泵并通入吹扫气体20~30分钟，去除残留气体，清洗后立即关闭电机，此时主阀需要保持关闭。 当我们吹扫干式真空泵时，当泵送气体不适合空气吹扫时，应使用其他冷却介质，如氮气和干燥清洁的空气，需要注意避免对泵送介质产生不良影响。 
