1、底压有机化学液相堆积中的光伏电池制取加工工艺中； 2、半导体材料离子注入加工工艺。在这种生产工艺流程中通常采用或转化成腐蚀汽体和碾磨颗粒； 3、除半导体材料加工工艺外的一些造成颗粒的加工工艺，不期待颗粒渗入油阀中，而期待颗粒排出来泵外，则用一定形式的干试机械设备机械泵能够符合要求； 4、在化工、食品产业中的水蒸气蒸馏、干躁、除泡、包裝等，要避免溶剂导致环境污染，合适用干式真空泵； 5、用作一般隔膜真空泵清理真空设备的前面泵，以避免油环境污染； 干式真空泵的运用主要是对自然环境有特别要求的制造行业，确保商品不被其他化学物质环境污染，保证商品的纯度及其产品品质。 
