1.被抽介质为低聚物、单体、聚合物和树脂等，需要蒸汽清洗。 2.蒸汽压力：1kg/cm2g。 3.吹扫步骤：关闭进气阀门，打开排气口阀门或消音器放水阀门。 4.在泵的进气口或与之相连的管道口注入蒸汽10~20分钟（时间取决于残留物质是否被清楚）。 5.用手旋转干式真空泵轴来检查泵是否顺畅。（此时不要启动电机并做好警示标记）。 6.如果转动顺畅，停止注入蒸汽。 7.开启电机并检查泵运行是否正常。 8.如果清洗完成后泵运行不正常，那就有必要重复上述步骤2到3次。 按照上述步骤对干式真空泵进行蒸汽清洗，可以有效清除泵内的压缩物质，平时应定期的使用该方法进行清洗。同时需要注意的一点是，如果泵内残留的压缩物质过多，那么不要强制启动泵。 
