爪型干式真空泵可以做成单级，也可以两级。英国的爱德华公司生产了一种将罗茨转子型 转子相组合的一种干式真空泵。它利用罗茨真空泵抽气比较有效，在较高压强下爪型真空泵抽气比较有效的特点，将这两种泵各自优势匹配起来，组成干式真空泵，其结果性较优良。这种泵以较低的运行成本和维获用实现干式的预抽泵和前级泵。爪型干式真空泵特用于真空度达IPa,含水分和硬质腐蚀颗粒的体芯片、光学通汛设备及平板显示器等高业的苛刻工艺流程。在众多的干 式真空泵中干式真空泵是备受半导体、光学器件等高科靑睐的一种容积式干式真空泵。 爪型干式真空泵也作为液环泵，水喷射泵替代产品成功应用于VD/VOD中，_得了良好的经济效益和环保效益：不仅可以超过90%的操作成本，而且大大减少了产生粉尘的排放量。除此之外，爪型干式真空泵广泛用于化工、核工业、薄膜、仪器、医药、食品等领域。 
